Caratteristiche principali del sistema di controllo wafer Olympus da 12 pollici:

• Trasmissione robusta, affidabile e sicura

Il sistema di ispezione dei wafer Olympus da 12 pollici continua la robustezza, l'affidabilità e la sicurezza dei modelli di generazione precedente, consentendo il trasporto sicuro e affidabile dei wafer da 300 mm, nonché dei wafer sottili e Warped.

● Ingegneria umana, facile da usare

Il sistema di ispezione a wafer Olympus da 12 pollici può impostare liberamente la modalità di ispezione, la progettazione tiene conto della funzionalità nell'ingegneria posteriore, con particolare attenzione alla semplicità di funzionamento dell'attrezzatura. I due modelli sono FOUP (Load Port) e FOSB.

L'ottimizzazione della posizione macro-osservativa del sistema di ispezione wafer Olympus da 12 pollici e la disposizione centralizzata delle unità operative migliorano la funzionalità dell'attrezzatura.

Sistema di controllo automatico dei wafer da 300 mm AL120-12 Specifiche tecniche