Gli algoritmi di controllo consentono un controllo stabile della divergenza controllando il rapporto di flusso, mentre la pressione ascendente FS-3000 viene controllata con la tecnologia di ottimizzazione del controllo HORIBA STEC. Inoltre, anche se il rapporto di distrazione cambia, l'algoritmo di controllo consente una risposta ad alta velocità alla distrazione.

• Migliorare la scalabilità e le prestazioni di manutenzione. L'FS-3000 può separare fino a 15 canali tramite l'elaborazione del segnale ad alta velocità. In caso di guasto dell'MFC, basta sostituire l'unità.

• Specifiche per una risposta flessibile FS-3000 supporta una vasta gamma di gas, tra cui gas misti. Inoltre, il FS-3000 supporta interfacce utente come RS-485 e DeviceNet.