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Cromatografia agli ioni di elio per analisi di diclorosilane
Gli strumenti sono dotati di rilevatori di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, utilizzando la tecnologia di taglio centrale di Huawei, le valv
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- Descrizione del prodotto
Cromatografia agli ioni di elio a diclorosilanoGli strumenti sono dotati di rilevatori di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, utilizzando la tecnologia di taglio centrale di Huawei, le valvole di campionamento sono dotate di un percorso di protezione dell'aria; L'intera macchina è progettata con più colonne e dotata di un sistema di correzione automatica della pressione di campionamento per garantire la quantità di campionamento dei campioni di diversi gas sottostanti. I prodotti hanno ottenuto successivamente i titoli di Progetto A per la trasformazione dei risultati di alta tecnologia di Shanghai, Nuovo prodotto chiave di Shanghai, Piano Torcia di Shanghai e Prodotti per strumenti scientifici 2009.
| Nome del progetto | Indicatori | ||
| Triclorosilicio (SiHCl)3Contenuto (Frazione di volume) / l0-6 ≤ | 10 | ||
| Contenuto di (clorosilano + cloruro di idrogeno) (SiH)3Contenuto di Cl + HCl ", in termini di cloruro di idrogeno (frazioni di volume) / l0-6 ≤ | 50 | ||
| Azoto (N)2Contenuto (Frazione di volume) / l0-6 ≤ | 1 | ||
| (ossigeno + argone) (O)2+ Ar) contenuto (frazione di volume) / l0-6 ≤ | 1 | ||
| Contenuto di monossido di carbonio (CO) / l0-6 ≤ | 1 | ||
| idrogeno (H)2Contenuto (Frazione di volume) / l0-6 ≤ | 10 | ||
| Diossido di carbonio (CO)2Contenuto (Frazione di volume) / l0-6 ≤ | 1 | ||
| Contenuto totale di idrocarburi (THC) in metano (CH)4(Frazione di volume) / l0-6 ≤ | 1 | ||
| Contenuto di metalli e altri elementi | Contenuto di (boro + alluminio) (B + Al) / (µg / kg) ≤ | 0.1 | |
| Contenuto di (fosforo + arsenico) (P + As) / (µg / kg) ≤ | 0.3 | ||
| Contenuto di gallio (Ga)/(µg/kg) ≤ | 0.1 | ||
| Antimonio (Sb) /(µg/kg) ≤ | 0.1 | ||
| Contenuto di indio (in) / (µg/kg) ≤ | 0.1 | ||
| Contenuto di calcio (Ca)/(µg/kg) ≤ | 1 | ||
| Contenuto di cromo (Cr)/(µg/kg) ≤ | 1 | ||
| Contenuto di ferro (Fe)/(µg/kg) ≤ | 5 | ||
| Contenuto di potassio (K)/(µg/kg) ≤ | 1 | ||
| Contenuto di sodio (Na)/(µg/kg) ≤ | 0.2 | ||
| Contenuto di nichel (Ni)/(µg/kg) ≤ | 1 | ||
| Contenuto di molibdeno (Mo) / (µg / kg) ≤ | 0.1 | ||
| Contenuto di manganese (Mn) / (µg/kg) ≤ | 0.2 | ||
| Contenuto di rame (Cu)/(µg/kg) ≤ | 0.2 | ||
| Contenuto di cadmio (Cd)/(µg/kg) ≤ | 0.5 | ||
| Contenuto di cobalto (Co)/(µg/kg) ≤ | 0.5 | ||
| Contenuto di zinco (Zn)/(µg/kg) ≤ | 0.1 | ||
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