2D e 3D ad alta risoluzioneXSistema di raggiFF70 CL

2D e 3D ad alta risoluzione per analisi completamente automatiche dei difetti minimiXSistema di raggi

A causa di difetti nei componenti di chip, sottostrati, nastri o prodotti finali, la produzione di semiconduttori richiede una produzione ottimale con rilevamenti e analisi automatizzati, di alta qualità, affidabili e veloci senza danni. NuovoFF70 CL XI sistemi di rilevamento a raggi sono progettati appositamente per l'analisi ottimale e automatizzata dei difetti più piccoli e esigenti di questi campioni. Risultati: test e rilevamenti estremamente precisi e ripetibili con prestazioni eccellenti.

l Migliorare il monitoraggio della qualità per controllare più posizioni con una risoluzione più elevata per identificare eventuali guasti mancanti

l Riduzione significativa dei costi e miglioramento della produzione grazie a una migliore copertura dei test

l Verifica affidabile e ripetibile della coerenza dei parametri di processo e difetti in qualsiasi momento

l Questa innovativa soluzione di analisi automatizzata è facile da usare e ottimizza i costi operativi

Capacità del sistema

FF70 CLCon una grande area di rilevamento, cioè,510 x 610 mmprofondità di rilevamento estremamente fine, cioè inferiore adi 150 nmIdeale per l'analisi automatica e senza perdite di punti di saldatura e fori di riempimento in circuiti integrati tridimensionali, chip e chip.

L'innovativo meccanismo di vuoto del banco operativo del sistema consente di mantenere i campioni in modo sicuro e preciso durante l'analisi e di compensare gli effetti della deformazione del campione.

FF70 CLDisponibilità di rilevatori a piatto ad alte prestazioni bidimensionali (dall'alto verso il basso) e tridimensionali (di CL-Fotografia stratificata al computer) analizza automaticamente, utilizzando un amplificatore di immagine ad alta risoluzione per la rotazione inclinata all'interno di componenti di funzionamento speciali.

Nanofocus di ultima generazioneXI tubi a raggi generano immagini bidimensionali e tridimensionali in grado di visualizzare e misurare spazi e funzionalità minimi, consentendoFF70 CLCapacità di analizzare le sfide più impegnative dei semiconduttori avanzati.

Interfaccia grafica utente (Interfaccia graficaFacile da usare e intuitivo, consente agli utenti di creare facilmente programmi di rilevamento di analisi automatizzati, multipunto e multifunzionali.

Le prove di calibrazione di fondo per tutti gli aspetti del sistema di monitoraggio automatico e continuo garantiscono la ripetibilità delle misurazioni che cambiano nel tempo.

Elenco delle proprietà del sistema:

l Analisi automatizzate ad alto flusso con buona ripetibilità e risultati affidabili

l Creazione semplice di rilevatori analitici automatizzati, multipuntuali e multifunzionali che consentono cambiamenti rapidi tra campioni e attività di misura

l Monitoraggio e ottimizzazione di fondo continui per garantire ripetibilità e precisione delle misurazioni

Dati tecnici