La precisione di filtraggio dei componenti tubolari è di 0,1-10 μ m e la portata raccomandata è di 40-60L/min

● Ampia gamma di precisione di filtraggio
Può corrispondere ad una precisione di filtraggio di 0,1-10 μm in modalità fissa o pulsata.

● Elevata resistenza alla corrosione
Il filtro non utilizza materiali corrosivi, quindi non c'è bisogno di preoccuparsi della corrosione o della generazione di prodotti intermedi.

● Caratteristiche dello scarico
Se utilizzato in combinazione con una stufa da forno dedicata, il gas di scarico (contenuto d'acqua) misurato da APIMS può raggiungere 1,2 ppb. L'uso continuato può raggiungere un livello di 0,1 ppb. Le impurità all'interno del filtro vengono rimosse con uno speciale metodo di pulizia in anticipo, con conseguente migliore prestazione di scarico.

Specifiche: