Il nuovo modello Pura Plus è stato progettato appositamente per rispondere alle ultime evoluzioni delle esigenze dell'industria dei wafer in termini di dimensioni e metriche delle apparecchiature. Pura Plus è un trasmettitore in linea di variabilità dell'umidità di traccia installato in più impianti di semiconduttori che conducono all'estremità della linea di produzione per il monitoraggio delle applicazioni di gas inerti ultrapuri. La distribuzione dei sistemi di gas all'interno dell'impianto è complessa e coinvolge molti rami, nodi e punti di utilizzo. Pertanto, dopo il punto di monitoraggio dell'umidità convenzionale, l'uso a valle può essere influenzato dall'infiltrazione di umidità a causa di piccole perdite, progettazione di sistema inefficace, guasti di componenti o errori di processo. Pura Plus, installato nel sistema di distribuzione, fornisce indicazioni di risposta rapida sotto i livelli di umidità di 20 ppb Le variazioni di 1 ppb hanno un tempo di risposta inferiore a 1 minuto. Punti salienti Risposta rapida alle variazioni di umidità a livello di ppb Sensibilità a bassi livelli di umidità (< 1 ppb) Nuovo concetto per l'installazione di misure multipunto Requisiti di manutenzione bassi Indicazione dello stato a segnale Punti di avviso e allarme impostabili Compatibilità Modbus Software multicanale per interfaccia di controllo remoto Rilevamento delle tubazioni per gas ultrapuri (UHP)
Indicatori tecnici
Velocità di risposta Tempo di risposta < 1 min 20 ppb variazioni di umidità 1 ppb Misura dell'umidità da 1 ppb a 20.000 ppm Intervalo di pressione da 0 a 10 bar Classe di resistenza alla pressione 300 bar Test di perdita 0-9 mbar l/s Gamma di flusso di lavoro 1 ~ 10 l / min Temperatura di funzionamento 5 ~ 40 ° C Temperatura di stoccaggio 30 ~ 70 ° C Alimentazione 20 ~ 28 V DC Consumo di energia 5 W massimo Classe di fusibile esterno 500 mA Fusione rapida Output dati Modbus ASCII a due fili RS485 Avvertimenti e allarmi 2 Strada Tensione massima 40 V DC Corrente massima 100 mA Materiali a contatto con gas Materiale dell'alloggiamento Acciaio inossidabile AISI 316L, lucidatura elettrica della superficie interna <10 Ra Struttura del sensore Elettrolito in ossido di alluminio, Protezione dorata superiore, alluminio inferiore Volume interno 4,4 cm³ Peso 450 grammi Interfaccia via aerea VCR di 1/4' m Interfaccia elettrica Interfaccia tipo M 9-pin D Compatibilità elettromagnetica EN50081-2 e EN50082-2