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Forno senza ossigeno Colla fotogravura Forno a wafer
Panoramica: forno senza ossigeno, forno senza ossigeno, durante il lavoro, lo studio è pieno di gas inerte CO2, N2, per impedire che il materiale si o
Dettagli del prodotto

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

I. Panoramica:
I wafer del forno senza ossigeno incastonano il serbatoio senza ossigeno, il forno senza ossigeno, durante il lavoro, lo studio è riempito di gas inerti CO2, N2, per impedire che il materiale si ossidi durante la cottura. Uso del forno inossidante nell'industria: imballaggio IC, LCD, Transistori, sensori, diodi, oscillatori a cristallo di quarzo, schede integrate ibride ...


Parametri tecnici del prodotto
Nome e modello: forno a doppia cavità AO-2DSL FCNET (supporta la funzione online di rete ONET-240)
Principali indicatori tecnici:
Dimensioni di lavoro: W1000 * D500 * H610 * 2 mm
Alimentazione: 380V 3φ 50HZ 18KVA
Il contenuto di ossigeno deve essere controllato <= 100 ppm.
Intervalo di temperatura: RT (temperatura ambiente) + 60 ~ 300 ℃;
2.5 uniformità della temperatura: ± 1,5%;
Velocità di temperatura 2.6: temperatura ambiente ~ 250 ° C, 45 minuti (test del contenitore vuoto). (Alta temperatura del processo del cliente 300 ℃)
2.7 raffreddamento a aria: raffreddamento da 250 ° C a 70 ° C in 100 minuti


Struttura della scatola:
3.1 il forno è costituito da parte della cassetta, parte dell'armario di controllo elettrico, riscaldamento elettrico e parte del sistema di ventilazione, struttura ragionevole, aspetto bello e generoso;
3.2 saldatura all'argon durante tutta la settimana, silicone resistente ad alte temperature, generatore elettrico in acciaio inossidabile SUS304 #, la stazione anti-macchina produce polvere;
3.3 materiale della scatola: la scatola esterna utilizza due strati di vernice anti-luce in acciaio al carbonio SS41 # dopo il trattamento del sale della pellicola di fosfato, per prevenire la polvere;
3.4 materiale della bile interna: l'uso di importazione SUS304 # giapponese 800 ° 2mm di spessore specchio in acciaio inossidabile, e la pulizia con soda alcalina, l'inquinamento dell'olio per evitare la cottura durante la produzione di particelle;
3.5 Materiale del barile medio: l'uso di importazione SUS304 # giapponese 800 volte 2mm di spessore specchio in acciaio inossidabile, e pulito con soda alcalina, disinfettare l'olio e saldatura ad argon (anti-inquinamento).
3.6 materiale isolante: silicato di alluminio di cotone;
3.7 raffreddamento intermedio: raffreddamento a aria intermedio


4, sistema di controllo della temperatura
Il controller 4.1 utilizza un touchscreen PLC 2 in 1 per controllare le due cavità in modo indipendente e cambiare in qualsiasi momento.
4.2 misurazione della temperatura: utilizzando una resistenza appositamente realizzata in platino;
4.3 sistema di controllo dell'azoto: sistema di controllo intelligente dell'azoto con doppio flussimetro.
5, misure di protezione perfette: interruttore di perdita / / protezione da ipertemperatura / / protezione da fase insufficiente / / protezione da corrente di sovraccarico del motore / / avviso di buzzer anormale della macchina

无氧烤箱 光刻胶 晶圆烘箱

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