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Macchina di pulizia al plasma YSP63FA
Macchina di pulizia al plasma YSP63FA
Dettagli del prodotto
Sistema di trasmissione dei campioni personalizzabile
● Operazione rapida e facile: inserire il contenitore del campione, gestire automaticamente e rimuovere il contenitore.
• Il substrato morbido può anche essere trasportato.
La velocità di trasporto può essere regolata tra Hi-Low.
Possibilità di operazione remota tramite rete (acquisto opzionale).
specifiche
● Operazione rapida e facile: inserire il contenitore del campione, gestire automaticamente e rimuovere il contenitore.
• Il substrato morbido può anche essere trasportato.
La velocità di trasporto può essere regolata tra Hi-Low.
Possibilità di operazione remota tramite rete (acquisto opzionale).
specifiche
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Modello |
YSP63FA |
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Modalità |
RIE (modalità DP opzionale) |
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Potenza di trasmissione ad alta frequenza |
600W |
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Dimensioni del banco di reazione |
W385×D362mm |
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Dimensioni interne |
W395 × D378 × H45mm (dimensioni interne) |
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Gas di reazione |
2 sistemi di aspirazione (ossigeno, argon) |
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Controllo del flusso del gas di reazione |
Controllatore di flusso di massa |
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Pompa per vuoto |
Pompa a vuoto rotante (circa 500 l/min) |
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Importazione gas |
2 gas di reazione, 1 gas di riempimento, 1 aria |
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Dimensioni |
W1860×D1100×H1800mm |
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