• Alta precisione ±1,0% punto di impostazione
  La linearità di questo regolatore di flusso di massa è compensata da curve di approssimazione polinomiali e consente un'alta precisione all'interno della gamma di controllo del flusso. Per migliorare la precisione dei gas effettivi, i dati di calibrazione dei diversi gas di processo vengono misurati con il sistema di misurazione standard del gas HORIBA STEC.
• Risposta ad alta velocità
  Il sistema PID variabile consente una risposta di 1 secondo tra due punti di impostazione. Il PID variabile cambia in base alle impostazioni del punto di flusso. Ottimizzazione del coefficiente PID in caso di variazione del flusso e del gas a piena scala.
• Soluzioni multigas/multidimensionali
  Il software di configurazione consente di modificare rapidamente e facilmente le specifiche. Una caratteristica importante è che le modifiche possono essere effettuate senza la necessità di rimuovere il regolatore di flusso di massa dal pannello di controllo del gas o dal tubo. Riduce il numero di controllori di flusso di massa di riserva necessari per risparmiare tempo e costi.

Il regolatore di flusso di massa SEC-Z500X è adatto per una vasta gamma di applicazioni e per la produzione di semiconduttori.